第八百零八章 九二一的影响 (第6/7页)

刻机错位和硅片加工工序中使用的石英管的破裂。

    由于新竹工业园区在台湾经济中占有重要位置，在牺牲部分民用电的情况下，大地震后立刻进行抢修，优先恢复其全部供电。各半导体厂商也各显其能，尽力恢复供电。震后当天，很多企业就利用自备电设备，新竹园区就已恢复了四分之一的供电。而台湾最大的半导体厂商台积电备有应急电源，震后不到十五分钟，在高级经理人员的主持下就开始了二十四小时的连续抢修。联华电子、华邦和旺宏等厂商安装有大容量的不停电电源。可以避免停电所遭受的损失。在新竹园区中唯一没有受到地震停电影响的是力晶公司，其与新宇公司订有热电联供合同。

    在半导体生产设备中，最精密的是步进式光刻机。

    大地震后，其位置错动，急需重新调整。生产光刻机的日本尼康公司马上派出六十余人的技术人员，赶赴台北，迅加入到新竹各厂的抢修队伍中。只是工程量太大，没有经过半个月的连续奋战，园区内的4oo余台光刻机时调试不完的，尼康公司为此推迟了未来两月中新订购光刻机的出厂进度。

    大地震中，联华电子等厂商的处理炉的部分石英管破裂。生产石英管的台湾园益石英公司，在供电上受到特别关照，其开工率由震前的5o迅提高至7o。在日本东芝公司和富士通公司的协助下，正在抓紧时间更换破损的石英管。

    由于新竹工业园区在地质构造上相对较为稳定，并且距台湾中部震源区较远，大地震对园区内厂房和生产设备造成的危害较小。台积电公司厂房和设备基本未受损失。联华电子集团